羅茨滑閥真空機組是由普通羅茨泵為主泵、滑閥真空泵為前級泵串聯(lián)組成的真空機組。通過真空繼電器或電接點壓力表,來實際羅茨泵滑閥泵的自動啟閉,自動過載保護。整套機組安裝在一個機架上,配以管道、閥門、電器操作控制箱、冷卻水管系統(tǒng)。機組結(jié)構(gòu)緊湊,使用方便。
根據(jù)被抽真空系統(tǒng)的大小及極限壓力的不同,真空機組各泵之間的名義抽速之比在4:1至10:1之間,前者較后者適用于較大真空系統(tǒng)及長時間在低壓入口壓力或極限真空情況下工作。本系列機組為了防止滑閥泵停機時返油,在前級進口管道上安有電磁充氣閥,其動作與前級泵電動機實現(xiàn)聯(lián)動,當滑閥泵停泵時,向泵口充氣,確?;y泵內(nèi)的真空油返回到油箱內(nèi),同時防止真空系統(tǒng)不受真空油污染。
羅茨滑閥真空機組的種類繁多,在選型時特別要注意:
1、真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境的影響。若工藝過程不允許,應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。
2、了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆?;覊m,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應的真空泵或真空機組。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,首先選擇耐腐蝕允許部分顆粒或蒸汽的真空泵,還可以考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備,如冷凝器、除塵器等。
3、所選真空泵或真空機組在其正常工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中所產(chǎn)生的全部氣體量,高真空羅茨滑閥真空機組否則影響真空度。
4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種真空泵不能滿足抽氣要求,需要幾種真泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。